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모델 번호 | ARC-1000 | ARC-1200 | ARC-1400 | ARC-1800 | ARC-2000 |
진공 챔버 치수(직경*높이) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 |
진공 챔버의 재질 | 냉각 자켓이 있는 SUS304 또는 SUS316L | ||||
아크 소스의 양 | 8-12 세트 | 10-14 세트 | 12-16 세트 | 14-24 세트 | 18-36 세트 |
펌핑 시스템 | 분자 펌프 또는 확산 펌프 + 기계 펌프 | 분자 펌프 또는 확산 펌프 + 기계 펌프, 부스터 펌프 | |||
펌핑 시간 | 대기압에서 5.0*10-2Pa까지 8분 이내 | ||||
바이어스 전원 공급 장치 | 20kW | 30kW | 40kW | 60kW | 60kW |
질량 흐름 컨트롤러가 있는 가스 분배 시스템 | ≥2 세트 | ||||
진공 한계 | 5.0*10-4파스칼 | ||||
작동 온도 | 섭씨 100-250도 | ||||
작업 모드 | 자동 또는 수동 모드, 10.4인치 PLC 터치 스크린 | ||||
총 전력 | 70-180kW | 70-180kW | 70-180kW | 120-300kW | 120-300kW |
발자국 | 3*3미터 | 3*3미터 | 3*4미터 | 4*5미터 | 4*5미터 |
• 전체구조 : 세로형 전면도어, 가로형 전면도어, 후면진공취득시스템
• 재료: 캐비티는 고품질 SUS304 스테인리스 스틸로 제작됩니다.
• 이온 아크 소스 : 장비의 크기에 따라 여러 세트의 아크 전원 공급 시스템을 갖추고 있습니다.
• 바이어스 전원 공급 장치: 고전력 단일 단계 펄스 바이어스 전원 공급 장치 장착
• 다중 아크 타겟: 여러 세트의 티타늄 또는 스테인리스 스틸 타겟을 표준으로 사용
• 회전 시스템: 가변 주파수 속도 조절, 회전과 회전의 조합, 상부 변속기 또는 하부 변속기.
• 진공 시스템(장식 코팅 장비): 확산 펌프(선택적 분자 펌프) + 루츠 펌프 + 기계식 펌프
• 가스 제어: 다방향 가스 질량 흐름 제어 시스템
• 난방 시스템: 장식용 코팅 150℃ 온도 제어 PID 조정 및 제어 가능
• 지능형 제어: PLC 지능형 제어 + HMI 풀 컬러 터치 인터페이스로 완전 자동 논리 제어 달성
• 경보 및 보호: 비정상적인 상황에서 경보를 울리고 해당 보호 조치를 구현합니다.
1. 유리 팔찌
2. 세라믹 타일 및 모자이크
3. 유리 모자이크
4. 주얼리
5. 유리 조명 부품
6. 금속 부품
7. 도자기 제품
8. 치과 용품
9. 티타늄 황금 시트로 스테인리스 강판,
10. 산탄총 부품 등