인라인 스퍼터링 시스템
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인라인 마그네트론 스퍼터링 시스템
인라인 마그네트론 스퍼터링 시스템은 다양한 용도로 작동하는 일종의 진공 박막 증착 장비입니다.당사 스퍼터링 라인의 가장 일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다.
알루미늄 미러 제조
- ITO 유리 코팅
- 반사 방지 유리
- 스테인리스 스틸 및 유리용 장식 코팅
이 코팅 시스템은 고급 진공 코팅 응용 분야에 적합합니다.안정적인 작업 성능을 발휘하여 진공 코팅 필름의 품질을 향상시킵니다.
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ITO 유리 마그네트론 스퍼터링 코팅 라인
ITO 유리 마그네트론 스퍼터링 코팅 라인은 진공 마그네트론 스퍼터링 기술과 불균형 마그네트론 스퍼터링 기술을 채택하여 SO2/ITO 층으로 고품질 플로트 유리를 코팅합니다.국제 고급 제어 시스템을 기반으로 합니다.전체 제조 공정은 자동으로 지속적으로 작동합니다.
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알루미늄 미러 인라인 마그네트론 스퍼터링 라인
알루미늄 미러 인라인 마그네트론 스퍼터링 라인은 유리 미러 제조 목적의 고출력을 위해 설계되었습니다.더 큰 유리를 코팅하고 깨지기 쉬운 유리 패널, 특히 대형 시트의 경우 일반적으로 수평 유형의 스퍼터링 라인을 만듭니다.연속적인 마그네트론 코팅 라인으로 전면 및 후면 러프 펌핑 챔버, 트랜지션 챔버 후, 미세 펌핑 챔버 전후, 버퍼 챔버, 컬러 도금실입니다.
타겟 설계: 원통형 마그네트론 스퍼터링 캐소드 또는/및 평면 캐소드.
전원: 고전력 DC 또는 MF 마그네트론 스퍼터링이 있는 전원 공급 장치
드라이브 시스템: 롤러 드라이브, 주파수 조절 가능, 감응작용 유형 룸 도어 개방 시스템.
진공 시스템: 확산 펌프(또는 터보 분자 펌프) + 루츠 펌프 + 기계식 펌프
