알루미늄 미러 인라인 마그네트론 스퍼터링 라인
주요 특징
- 알루미늄 미러 인라인 마그네트론 스퍼터링 라인은 일반적으로 유리 시트에 진공 코팅을 완료하기 위해 여러 개의 진공 챔버와 함께 제공됩니다.
- 주요 특징:
- 1.Max.glass 코팅 크기: 2440x3660mm 또는 주문을 받아서 만드는
- 2. 다중 진공 챔버 및 다중 스퍼터링 챔버 설계 가능
- 3. 수평 자기 제어 라인은 단일 종단 및 양단 구조를 가지고 있습니다.유리 이중 세척, 코팅, 감지, 도장, 건조, 냉각을 한 번에 완료할 수 있습니다.
- 4. 스퍼터링 코팅 라인은 전체 공정 제어를 위해 PLC를 사용하고 코팅 공정 데이터를 보여주는 컬러 스크린을 갖추고 있습니다.
코팅층: 티타늄, 크롬, 스테인리스 스틸, 알루미늄, 은, 구리 등
- 화합물: TiN, TiO2 등
- 층 두께: 5-100nm
- 전송: 380-780nm 파장에서 8-40%
- 증착 온도: 실온
- 8시간 펌프 다운 후 최종 압력:
- 입구 잠금 챔버 및 진공 잠금 챔버: 5×10-1 Pa 이하
- 버퍼 챔버 1 : 3×10-3 Pa 이하
- 스퍼터링 챔버: 2×10-3 Pa 이하
- 버퍼 챔버 2 : 3×10-3 Pa 이하
- 출구 잠금 챔버 및 진공 잠금 챔버: 5×10-1 Pa 이하
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