인라인 마그네트론 스퍼터링 시스템
인라인 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 주로 DC(또는 MF)입니다. 마그네트론 스퍼터링 코팅은 스퍼터링 공정을 사용하여 코팅할 수 있는 구리, 티타늄, 크롬, 스테인리스 스틸, 니켈 및 기타 금속 재료와 같은 광범위한 대상에 적용할 수 있습니다. 필름 접착력, 재현성, 밀도, 균일성 및 기타 특성을 향상시킬 수 있습니다.
- ㅏ.기본 특성 및 매개변수
- 비.한 면에 동시에 코팅된 수평 라인 구조 구현 가능
- 씨.생산 효율성, 최대 1분/비트의 가장 빠른 속도
- 디.모듈식 설계, 손쉬운 유지보수
- 이자형.도금 공정 성숙도, 높은 수율
- 에프.DC 마그네트론 스퍼터링 음극은 고객 요구 사항에 따라 다를 수 있습니다.
- g.진공 시스템은 기계식 펌프, 루츠 펌프, 확산 펌프(분자 펌프)로 구성
- 시간.라인 바디 크기는 고객 요구 사항에 따라 다를 수 있습니다.
- 1) 진공 챔버 본체 재료는 SUS304를 사용하여 진공 챔버 벽 처리 연마, 외벽 스프레이 연마 비드 처리.
- 2) 진공 챔버 - 플래퍼 밸브 사이에 독립적인 게이트 밸브를 사용하여 프로세스 가스를 효과적으로 차단하고 안정화할 수 있습니다.현재 우리 회사는 플래퍼 밸브 설계를 채택하여 현재 국내 일반 플랩 밸브보다 더 잘 밀봉하고 내구성이 있습니다.
- 3) 변속기는 마그네틱 가이드를 사용하여 드라이브의 안정성을 보호합니다.VVVF 모터 드라이브를 사용하는 전체 생산 라인의 각 속도에 대해 실행 속도를 조정할 수 있습니다.
- 4) 전기 제어 시스템: 터치스크린 및 PLC 자동 제어, 데이터 표시 시스템, 작동 매개변수 및 제어 기술을 달성하기 위한 인간-기계 대화
- 1) 최종 진공 압력: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) 평균 생산주기 : 결정된 제품에 따라
- 3) 기질 홀더 크기: 의 필요조건에 따라 주문을 받아서 만들어질 수 있습니다
- 4) 필름 균일성: ±3%의 향상된 모바일 필드 기술로 타겟 활용도 크게 향상
- 분할 히터 설계는 프로세스 최적화에 도움이 됩니다.
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