ITO 유리 마그네트론 스퍼터링 코팅 라인
주요 기술 매개변수
- 1. 진공 챔버는 스테인리스 스틸, 수직 구조로 만들어졌으며 외벽은 냉각수와 연결되고 내벽은 스테인리스 스틸 블록으로 연결됩니다.
- 2. 진공 시스템: 확산 펌프 시스템과 터보 분자 펌프 시스템 모두 사용할 수 있습니다.
- 3. 증발원: DC 마그네트론 스퍼터링 타겟, 불균형 마그네트론 스퍼터링 타겟은 각각 진공 챔버의 양쪽에 고정됩니다.
- 4. 공작물 건조 시스템: 스퍼터링 라인은 유리의 가열 균질성을 보장하기 위해 스테인리스 관형 히터와 증기 챔버를 채택합니다.
- 5. 공기 팽창 시스템: 질량 흐름 가스 계량기 및 자동 압력 컨트롤러.
- 6. 전기 제어 시스템: 인간-기계 대화 시스템에 의한 데이터 표시, 작동 및 제어를 실현하는 터치스크린 및 PLC 자동 제어.
- 7. 수냉 시스템: 수압 보호 스위치와 수류 스위치가 있는 진공 냉각 및 음극 냉각 시스템.
Continuous ITO Glass Sputtering Line의 진공 챔버 재질은 SUS304이며 내부 벽은 광택 처리되어 있습니다.그리고 외벽은 연마 후 비드를 분사합니다.
- 진공 챔버의 전달은 전달의 안정성을 보장하기 위해 자기 솔레노이드에 의해 이루어집니다.전체 생산 라인의 각 섹션에 대한 속도는 가변 주파수 모터에 의해 구동되며 속도는 조정 가능합니다.
- 연속 ITO 유리 스퍼터링 라인의 제어 시스템: 터치 스크린 및 PLC 자동 제어
- 응용 분야: 휴대폰, 전자 제품, 가전 제품 및 디스플레이의 유리 패널
- TITO 유리 인라인 스퍼터링 시스템은 기판에 다양한 코팅을 적용할 수 있습니다.우리는 고객의 요구 사항에 따라 설계 및 완전한 기계 세트를 제공하며 레시피 및 TURNKEY 프로젝트 서비스에 대한 기술 지원도 제공할 수 있습니다.
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