ㅡ
진공 마그네트론 스퍼터링 기술은 자기장에 수직으로 타겟 표면 전기장을 설정함으로써 음극 표면 드리프트에서 전자의 자기장을 가진 암, 양극 전극 표면을 사용하는 것입니다. 전자는 스트로크를 증가시키고 이온화 속도를 증가시킵니다. 고에너지 입자는 충돌 후 에너지를 잃고 기판 온도를 낮추는 반면 내열성이 없는 재료에 코팅을 완료합니다.