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-하나/두 개의 문
프레임과 챔버는 탄소 스테인리스 스틸로 만들어집니다.
각 도어는 프로세스의 시각적 제어를 위한 검사 창을 제공합니다.도어 벽은 유지 보수를 위해 쉽게 제거할 수 있는 스테인리스 스틸 라이너를 제공합니다.
- 맞춤형 진공 챔버
챔버는 청소를 위해 쉽게 제거할 수 있는 내부 스테인리스 스틸 라이너를 제공합니다.
펌프는 뒤쪽 부분에 서 있습니다.
챔버에는 측정을 위한 일련의 작은 플랜지가 있습니다.
-고진공 펌핑 시스템
확산펌프+부스터펌프+기계식펌프
-진공 측정 및 제어
금속 Pirani 게이지 + 금속 이온화 게이지 포함
- 설비 이동 시스템
-PLC 제어 장치
- 고전력 변압기를 사용한 알루미늄 증발 시스템
- 철제 프레임
구조가 합리적이다
필름층이 균일하다
필름 형성 품질
높은 펌핑 속도, 짧은 작업 주기 및 높은 생산 효율성
조작이 편리하다
낮은 에너지 소비 및 안정적인 성능
모델 번호 | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | 두 개의 문 또는 두 개의 챔버 모델을 사용할 수 있습니다. | |
진공 챔버 치수(직경*높이) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
진공 챔버의 재질 | 탄소강, SUS304 또는 SUS316L | ||||||
일하는 기술 | 텅스텐 및 알루미늄 필라멘트를 사용한 진공 저항 증발, 고전력 증발 변압기 | ||||||
펌핑 시스템 | 확산 펌프+기계식 펌프, 부스터 펌프 | ||||||
펌핑 시간 | 대기압에서 5.0*10-2Pa까지 8분 이내 | ||||||
진공 한계 | 5.0*10-4파스칼 | ||||||
작동 온도 | 실온 | ||||||
작업 모드 | 자동 또는 수동 모드, 10.4인치 PLC 터치 스크린 | ||||||
총 전력 | 40-80kW | 70-140kW | |||||
발자국 | 2*2미터 | 2*3미터 | 3*3미터 | 3*3미터 | 3*4미터 | 4*5미터 | 5*6미터 |
이 단위는 맞춤 제작할 수 있습니다. | 1. 진공 챔버의 크기 2. 펌프 구성 | ||||||
옵션 기기 | 1. 누설 감지기 3. 아크 이온 증착 시스템 4. Magntron 스퍼터링 시스템 |